2024年度国家自然科学基金专项项目——“先进IC制造装备共性基础”项目指南

近日，基金委工程与材料科学部发布《2024年度国家自然科学基金专项项目——“先进IC制造装备共性基础”项目指南》，要点如下：

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为贯彻落实党中央、国务院关于加强基础研究的重要战略部署，国家自然科学基金委员会（以下简称自然科学基金委）工程与材料科学部拟资助“先进 IC 制造装备共性基础”专项项目。

一、资助方向

1. 光机电系统数字孪生建模理论与方法。

2. 高性能磁流变抛光液材料及其性能退化规律。

3. 精密光机结构与材料极微蠕变机理与抑制方法。

4. 工艺膜层及微结构对光学传感影响规律。

5. 高频振动抑制策略与主被动阻尼减振元件设计。

6. 气流噪声产生机理、传播规律与抑制方法。

7. 耐辐照光纤束制造新方法。

8. 液体镜头温度波动对曝光性能影响规律。

9. 球面/非球面光学表面/亚表面疵病检测与评价方法。

10. 投影物镜波像差检测物理光学模型与误差降低方法。

二、资助期限和资助强度

本专项项目资助期限为2年，申请书中研究期限应填写“2025年1月1日－2026年12月31日”。计划资助10项左右，平均资助强度约150万元/项。

三、限项要求

1. 申请人同年只能申请1项专项项目的研究项目。

2. 申请人和主要参与者只能申请或参与申请1项本专项项目。

3. 本专项项目从申请开始直到自然科学基金委做出资助与否决定之前，不计入申请和承担总数范围，获资助后计入申请和承担总数范围

四、申请时间

申请接收截止时间为2024年12月12日16时。校内截止时间为2024年12月10日。

附件1： 2024年度国家自然科学基金专项项目——“先进IC制造装备共性基础”项目指南

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校内申报截止时间为：2024年12月10日

校内联系人：耿晓光

联系方式：010-62332207，gengxg@ustb.edu.cn

办公地点：办公楼229